P EC VD (P las ma En han ced Chem ical Vap or De position) : 강한 전기 장 (광 광 방 전) 또는 자기 장을 사용하여 필요한 가스 소 스 분 자를 이 온 화 하여 플 라 즈 마 를 생성 하며 , 플 라 즈 마는 일련 의 화학 및 플 라 즈 마 반응을 거 쳐 샘플 표 면에 고 체 필 름을 형성 하기 위해 매우 높은 활성 화학 그룹 을 많이 포함 합니다 .

그것의 주요 역할 은 태양 전 지 및 실 리 콘 웨 이 퍼 의 표 면에 S IN 필 름을 도 금 하는 것이며 , 이 필 름 은 태양 광 의 반 사 율 을 줄 이고 광 전 변환 효율 을 증가 시킬 수 있습니다 .그것은 또한 좋은 항 산 화 및 절 연 성 능을 가지고 있으며 , 금 속 및 물 이 온 확 산 을위한 좋은 마 스 킹 능력을 가지고 있으며 , 화학 적 안정 성이 좋 으며 , 불 소 산 과 열 인 산 은 천천히 부 식 할 수 있으며 , 다른 산 은 기본적으로 작동 하지 않습니다 .