PECVD (البلازما المعززة الترسيب البخار الكيميائي): استخدام الحقل الكهربائي القوي (التفريغ المتوهج) أو الحقل المغناطيسي لتأين جزيئات مصدر الغاز المطلوبة لإنتاج البلازما، البلازما تحتوي على العديد من المجموعات الكيميائية عالية النشاط هذه المجموعات من خلال سلسلة من التفاعلات الكيميائية والبلازما، تشكيل فيلم صلب على سطح العينة.

دورها الرئيسي هو طلاء طبقة رقيقة SIN على سطح الخلايا الشمسية ورقاقة السيليكون ، وهذا الفيلم يمكن أن يقلل من انعكاس ضوء الشمس وزيادة كفاءة التحويل الكهربائي الضوئي.كما أنه لديه خصائص جيدة مضادة للأكسدة والعزل ، وفي الوقت نفسه لديه قدرة جيدة على إخفاء المعادن وانتشار أيونات الماء ، والاستقرار الكيميائي جيد ، باستثناء الحمض الهيدروفلوري والحمض الفوسفوري الحراري يمكن أن تتآكل ببطء ، والأحماض الأخرى لا تعمل بشكل أساسي.